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化学机械抛光液存在的一些问题?

发表时间:2014-11-29

  化学机械抛光液存在的一些问题?

       随着经济的发展,为了彻底摆脱对进口抛光液的依赖,抛光液行业在国内的关注度逐渐上升,但在抛光液的制备及其使用过程中仍有许多问题需要解决:

  (1)抛光液对环境的影响。化学机械抛光液中的化学成分,如氨、酸等有毒成分对环境和人体的伤害很大,为此,在进一步研究抛光液制备工艺的同时,抛光液的循环利用也要进一步完善,做到经济发展与环境保护相协调。例如,水性体系的抛光液绿色环保、散热快等。

   (2)化学机械抛光液磨料粒子的分散问题。抛光液中使用的多为纳米粒子,纳米粒子的比表面积较大,表面能较高,极易发生团聚,目前国内外常用超声波、机 械搅拌、表面处理等机械化学方法对纳米磨料粒子进行分散 ,但是往往达不到效果,因此,纳米磨料粒子的分散稳定性需要进一步的研究。本课题组正在通过使用纳滤膜或微滤膜控制磨料粒子分布的宽窄来制备精细化的抛光 液。

  (3)抛光液的适用性。目前所用的抛光液没有表明针对某一工件适用,因此,针对不同材料开发专门使用的化学机械抛光液需要进一步的研究。例如,目前富士康对ipHone、 ipad 等外壳进行光学镜面模抛光,以及对半导体晶片的抛光,都需要使用专门特定的抛光液。

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